从工艺技术来看，刻蚀可分为湿法刻蚀（Wet Etching）和干法刻蚀（Dry Etching）两类。相比湿法刻蚀，干法刻蚀精确度、洁净度更高，随着芯片技术进入纳米阶段，干法刻蚀逐渐成为主流，但设备复杂度和成本也较高，对于设备零部件的也更严苛。刻蚀机对配件的稳定性、精准度、耐高温、耐腐蚀、高洁净度等性能要求比较高，义文能为刻蚀机提供门机柜锁定解决方案、符合人体工学拉手解决方案、高承载脚轮&支撑脚解决方案、防护类、线束管理解决方案等，全面、定制化、高性能，满足各种环境尺寸的应用需求。
刻蚀机零部件解决方案
